QUALITY INSPECTION OF THIN FILM MATERIALS

Devices and methods for determining the quality thin film materials are disclosed. The thin film materials are provided on substrates forming thin film material structures. The devices comprise a housing, a THz module with a THz source emitter and a THz detector,and a reflective base moveable relative to the THz module and configured to support the thin film material structures. The THz source emitter is configured to irradiate the thin film materials. The THz detector is configured to measure at least one reflection of the irradiation. The device is configured to calculate a parameter indicative of the quality of the thin film material based on said reflection measurements. L'invention concerne des dispositifs et des procédés pour déterminer la qualité de matériaux de film mince. Les matériaux de film mince sont placés sur des substrats formant des structures de matériau de film mince. Les dispositifs comprennent un boîtier, un module THz avec un émetteur de source THz et un détecteur THz, et une base réfléchissante mobile par rapport au module THz et configurée pour soutenir les structures de matériau de film mince. L'émetteur de source THz est configuré pour exposer les matériaux de film mince à un rayonnement. Le détecteur THz est configuré pour mesurer au moins une réflexion du rayonnement. Le dispositif est configuré pour calculer un paramètre indiquant la qualité du matériau de film mince sur la base desdites mesures de réflexion.