APPARATUS FOR IMPROVING TEMPERATURE UNIFORMITY OF A WORKPIECE

An apparatus and method for improving the temperature uniformity of a workpiece during processing is disclosed. The apparatus includes a ring heater assembly disposed along the outer circumference of the platen. The ring heater assembly includes heating elements disposed therein or thereon, where th...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SCHRAMEYER, MICHAEL A, ANELLA, STEVEN M
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:An apparatus and method for improving the temperature uniformity of a workpiece during processing is disclosed. The apparatus includes a ring heater assembly disposed along the outer circumference of the platen. The ring heater assembly includes heating elements disposed therein or thereon, where these heating elements create heat, which serves to warm the outer edge of the workpiece. In some embodiments, the ring heater assembly extends beyond the edge of the workpiece and may be exposed to the ion beam. L'invention concerne un appareil et un procédé pour améliorer l'uniformité de la température d'une pièce à travailler pendant son traitement. L'appareil comprend un ensemble de chauffage annulaire disposé le long de la circonférence extérieure du plateau. L'ensemble de chauffage annulaire comprend des éléments chauffants disposés en son sein ou sur lui, ces éléments chauffants créant de la chaleur qui sert à chauffer le bord extérieur de la pièce à travailler. Dans certains modes de réalisation, l'ensemble de chauffage annulaire s'étend au-delà du bord de la pièce à travailler et peut être exposé au faisceau d'ions.