PLASMA GENERATOR WITH AT LEAST ONE NON-METALLIC COMPONENT

A plasma generator for an ion implanter is provided. The plasma generator includes an ionization chamber for forming a plasma that is adapted to generate a plurality of ions and a plurality of electrons. An interior surface of the ionization chamber is exposed to the plasma and constructed from a first non-metallic material. The plasma generator also includes a thermionic emitter including at least one surface exposed to the plasma. The thermionic emitter is constructed from a second non-metallic material. The plasma generator further includes an exit aperture for extracting at least one of the plurality of ions or the plurality of electrons from the ionization chamber to form at least one of an ion beam or an electron flux. The ion beam or the electron flux comprises substantially no metal. The first and second non-metallic materials can be the same or different from each other. L'invention concerne un générateur de plasma destiné à un implanteur ionique. Le générateur de plasma comprend une chambre d'ionisation permettant de former un plasma qui est conçu pour générer une pluralité d'ions et une pluralité d'électrons. Une surface intérieure de la chambre d'ionisation est exposée au plasma et est construite à partir d'un premier matériau non métallique. Le générateur de plasma comprend également un émetteur thermo-ionique comprenant au moins une surface exposée au plasma. L'émetteur thermo-ionique est construit à partir d'un second matériau non métallique. Le générateur de plasma comprend en outre une ouverture de sortie permettant d'extraire la pluralité d'ions et/ou la pluralité d'électrons à partir de la chambre d'ionisation pour former un faisceau d'ions et/ou un flux d'électrons. Le faisceau d'ions ou le flux d'électrons ne comprend sensiblement aucun métal. Les premier et second matériaux non métalliques peuvent être identiques ou différents l'un de l'autre.