ELECTROSTATIC BIPRISM
The invention relates to an electrostatic biprism comprising a multilayer with a freestanding electrode, being preferably a multi-biprism, the method for preparing said electrostatic biprism and the use of said biprism within an electron beam device. The invention further relates to a microscope, an...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
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| Zusammenfassung: | The invention relates to an electrostatic biprism comprising a multilayer with a freestanding electrode, being preferably a multi-biprism, the method for preparing said electrostatic biprism and the use of said biprism within an electron beam device. The invention further relates to a microscope, an interferometer or an electron beam device comprising said electrostatic biprism.
La présente invention concerne un biprisme électrostatique comportant une multicouche avec une électrode autoportante, étant de préférence un double multi-prisme, le procédé pour la préparation dudit biprisme électrostatique et l'utilisation dudit biprisme à l'intérieur d'un dispositif à faisceau d'électrons. L'invention concerne en outre un microscope, un interféromètre ou un dispositif à faisceau d'électrons comprenant ledit biprisme électrostatique. |
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