ROLL-TO-ROLL GRAVURE PRINTING BASED THIN FILM TRANSISTOR MANUFACTURING METHOD, THIN FILM TRANSISTOR BACKPLANE MANUFACTURING METHOD, AND BACKPLANE PRESSURE SENSOR AND SMART FLOOR MANUFACTURING METHOD

The present invention relates to manufacturing a 100% printed thin film transistor backplane that can be mass-produced at a low cost using gravure printing (R2R and R2P gravure printing) equipment and a sensor array. In the manufacturing of a TFT backplane using gravure printing equipment, when roll-to-roll type equipment is used, the backplane is manufactured by printing source and drain electrodes, an insulation layer, an active layer, and a gate electrode on a flexible substrate such that they are overlaid with each other, and when roll-to-plate type equipment is used, the backplane is manufactured by coating an active layer on a flexible substrate and then printing source and drain electrodes, an insulation layer, and a gate electrode thereon such that they are overlaid with each other. According to the present invention, by applying a gravure printing process that has more advantages than an existing lithography, etching, or a high-temperature process, it is possible to perform a low-temperature atmospheric process, simplify large-area printing and a manufacturing method thereof, and achieve high productivity and low-cost production. La présente invention concerne la fabrication d'un fond de panier de transistor à couches minces imprimé à 100 % qui peut être produit en masse à un faible coût à l'aide au moyen d'un équipement d'impression en creux (impression en creux R2R et R2P) et d'un ensemble de capteurs. Au cours de la fabrication d'un fond de panier d'un transistor à couches minces utilisant un équipement d'impression en creux, lorsqu'un équipement de type rouleau à rouleau est utilisé, le fond de panier est fabriqué par impression des électrodes de source et de drain, d'une couche d'isolation, d'une couche active et d'une électrode de grille sur un substrat flexible, de telle sorte qu'ils se recouvrent mutuellement, et lorsqu'un équipement de type rouleau à plaque est utilisé, le fond de panier est fabriqué par dépôt d'une couche active sur un substrat flexible puis par impression des électrodes de source et de drain, d'une couche d'isolation, et d'une électrode de grille sur celle-ci de telle sorte qu'ils se recouvrent mutuellement. Selon la présente invention, l'application d'un procédé d'impression en creux qui présente plusieurs avantages par rapport aux procédés existants de lithographie, de gravure, ou à haute température permet de réaliser un traitement atmosphérique à basse température, de simplifier l'impression de grande surface et un