POSITIONING SYSTEM HAVING PART OF A MEASURING MEANS MOVE ALONG AN AUXILIARY GUIDE

A positioning system, in particular for producing, testing and inspecting wafers, comprises a first linear main guide extending in an x-direction, a first carriage that is movably guided by means of a first main bearing along the first linear main guide, a platform that is connected such to the first carriage that the platform gets moved along with the first carriage in the x-direction, a first actuator for displacing the first carriage together with the platform along the first linear main guide in the x-direction, and a first reference element and a first sensor which together are designed for determining a position of the platform in the y- direction, which y-direction is perpendicular to the x-direction, in which one of the first reference element and first sensor is connected to the platform for moving along with the platform when it is displaced in the y-direction, and in which the other one of the first reference element and first sensor is connected to the first carriage for moving along with the first carriage when it is displaced together with the platform along the first main guide in the x-direction. A first linear auxiliary guide is provided which extends in the x-direction, wherein the one of the first reference element and first sensor that is connected to the first carriage for moving along therewith, is movably guided by means of a first auxiliary bearing along the first linear auxiliary guide. La présente invention concerne un système de positionnement, en particulier pour produire, tester et inspecter des plaquettes, qui comprend un premier guidage principal linéaire qui s'étend dans une direction x, un premier chariot qui est guidé en mouvement au moyen d'un premier palier principal le long du premier guidage principal linéaire, une plate-forme, qui est raccordée au premier chariot de telle sorte que la plate-forme soit déplacée conjointement avec le premier chariot dans la direction x, un premier actionneur pour déplacer le premier chariot conjointement avec la plate-forme le long du premier guidage principal linéaire dans la direction x, et un premier élément de référence et un premier capteur qui ensemble sont conçus pour déterminer une position de la plate-forme dans la direction y, laquelle direction y est perpendiculaire à la direction x, l'un parmi le premier élément de référence et le premier capteur étant raccordé à la plate-forme pour se déplacer conjointement avec la plate-forme lorsqu'il est déplacé dans la direction y, et l