DESMEAR MODULE OF A HORIZONTAL PROCESS LINE AND A METHOD FOR SEPARATION AND REMOVAL OF DESMEAR PARTICLES FROM SUCH A DESMEAR MODULE

The present invention is related to a desmear module (1) for a horizontal galvanic or wet-chemical process line for metal, in particular copper, deposition on a substrate to be treated for a removal of precipitates comprising a desmear container (2) being connectable to a desmear unit (3), a pump (4) and at least a first liquid connection element (5) for connecting said pump with the desmear unit, wherein said pump is in conjunction with said desmear unit by said at least first liquid connection element; and wherein a treatment liquid level (6) is provided inside of the desmear module, which is above of an intake area (7) of the pump; wherein the desmear module further comprises at least a first liquid area (9), at least an adjacent second liquid area (10) comprising the intake area of the pump, and at least a first separating element (11) arranged between said at least first liquid area and said at least second liquid area. The present invention is further related to a method for selective separation and subsequent removal of desmear particles from such a desmear module. La présente invention concerne un module (1) de décapage destiné à une ligne horizontale de processus galvanique ou chimique par voie humide servant au dépôt de métal, en particulier de cuivre, sur un substrat à traiter en vue de l'élimination de précipités, comportant un récipient (2) de décapage susceptible d'être relié à une unité (3) de décapage, une pompe (4) et au moins un first élément (5) de raccordement pour liquide servant à relier ladite pompe à l'unité de décapage, ladite pompe étant en liaison avec ladite unité de décapage via ledit ou lesdits premiers éléments de raccordement pour liquide; et un niveau (6) de liquide de traitement mis en place à l'intérieur du module de décapage se situant au-dessus d'une zone (7) d'admission de la pompe; le module de décapage comportant en outre au moins une première zone (9) de liquide, au moins une deuxième zone (10) de liquide adjacente comportant la zone d'admission de la pompe, et au moins un premier élément (11) de séparation disposé entre ladite ou lesdites premières zones de liquide et ladite ou lesdites deuxièmes zones de liquide. La présente invention concerne en outre un procédé de séparation sélective et d'évacuation subséquente de particules de décapage d'un tel module de décapage.