METHOD AND APPARATUS FOR STABILIZING VACUUM AND USE OF THE METHOD

The invention relates to a method and apparatus for stabilizing vacuum in a vacuum process. According to the invention, the method comprising steps: determining a vacuum level; forming vacuum primarily by means of a barometric leg (1); forming vacuum secondly by means of a vacuum pump device (2); and controlling the forming of the vacuum by means of the combination of the barometric leg and vacuum pump device so that the vacuum is adjusted to predetermined level and the vacuum is firstly formed by means of the barometric leg and the vacuum is completed to the predetermined level by means of the vacuum pump device and the vacuum pump device (2) is controlled by means of a frequency converter (4). Further, the invention relates to a use of the method. L'invention concerne un procédé et un appareil pour la stabilisation de vide dans un processus sous vide. Selon l'invention, le procédé comprend les étapes de : détermination d'un niveau de vide ; formation de vide principalement au moyen d'une colonne barométrique (1) ; formation de vide en second lieu au moyen d'un dispositif pompe à vide (2) ; et commande de la formation du vide au moyen de la combinaison de la colonne barométrique et du dispositif pompe à vide de sorte que le vide est réglé à un niveau prédéfini et le vide est d'abord formé au moyen de la colonne barométrique et le vide est complété au niveau prédéfini au moyen du dispositif pompe à vide et le dispositif pompe à vide (2) est commandé au moyen d'un convertisseur de fréquence (4). En outre, l'invention concerne une utilisation du procédé.