MICRODISSECTION WITH COUNTER-CHANGE-IN-TILT INTERFEROMETRY

Microdissection with counter-change-in-tilt interferometry, such as rotational-shear interferometry, and method. La présente invention concerne la micro-dissection avec interférométrie à contre-changement en inclinaison, par exemple l'interférométrie à cisaillement rotatif, et un procédé associ...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	WAYNE, LEONARD, RODENHAUSEN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Microdissection with counter-change-in-tilt interferometry, such as rotational-shear interferometry, and method. La présente invention concerne la micro-dissection avec interférométrie à contre-changement en inclinaison, par exemple l'interférométrie à cisaillement rotatif, et un procédé associé.