LASER DEVICE

This laser device may be provided with: an oscillator that outputs seed light; an amplifier including a laser chamber disposed on the optical path of the seed light, and a pair of discharge electrodes disposed in the laser chamber; and a conversion optical system, which is disposed on the optical pa...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: OHTA TAKESHI, KUMAZAKI TAKAHITO, WAKABAYASHI OSAMU, TEI DAISUKE
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:This laser device may be provided with: an oscillator that outputs seed light; an amplifier including a laser chamber disposed on the optical path of the seed light, and a pair of discharge electrodes disposed in the laser chamber; and a conversion optical system, which is disposed on the optical path of the seed light, said optical path being between the oscillator and the amplifier, and which converts the seed light such that deterioration of polarization purity of laser light to be outputted from the amplifier is suppressed. L'invention concerne un dispositif laser qui peut être doté : d'un oscillateur qui délivre en sortie une lumière d'ensemencement; d'un amplificateur comprenant une chambre laser disposée sur le trajet optique de la lumière d'ensemencement, et une paire d'électrodes émissives disposées dans la chambre laser; et d'un système optique de conversion, qui est disposé sur le trajet optique de la lumière d'ensemencement, ledit trajet optique étant situé entre l'oscillateur et l'amplificateur, et qui convertit la lumière d'ensemencement de telle sorte que la détérioration de la pureté de polarisation de la lumière laser devant être délivrée en sortie par l'amplificateur est supprimée. このレーザ装置は、シード光を出力する発振器と、シード光の光路に配置されたレーザチャンバと、レーザチャンバの中に配置された一対の放電電極と、を含む増幅器と、発振器と増幅器との間のシード光の光路に配置され、増幅器から出力されるレーザ光の偏光純度の低下を抑制するように、シード光を変換する変換光学系と、を備えてもよい。