POSITIONING DEVICE, METHOD OF APPLYING A PLURALITY OF FORCES, METHOD OF POSITIONING, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

A method of applying a plurality of forces to a physical component in response to an external force being applied to the physical component, wherein: - each respective one of the plurality of forces is being applied at a respective one of a plurality of predetermined different locations at the physical component; - the plurality of forces are higher in number than a minimum number needed to counteract a displacement of the physical component as a result of the external force and to counteract a change of orientation of the physical component as a result of the external force; - the method comprises applying the plurality of forces by: (i) controlling the plurality of forces so as to counteract the external force and achieve force equilibrium and moment equilibrium of the physical component; and (ii) controlling the plurality of forces so as to control an elastic deformation of the physical component at a region-of-interest at the physical component, the plurality of forces being controlled dependent on at least one of: a further location on the physical component at which the external force is being applied to the physical component, a magnitude of the external force, a direction of the external force and an estimated elastic deformation of the physical component at the region-of-interest, the elastic deformation occurring as a result of the plurality of forces and of the external force being applied. La présente invention concerne un procédé d'application d'une pluralité de forces sur un composant physique en réponse à une force externe appliquée sur le composant physique. Dans ledit procédé : - chaque force respective parmi la pluralité de forces est appliquée sur un emplacement respectif parmi une pluralité d'emplacements différents prédéterminés sur le composant physique ; la pluralité de forces sont de nombre plus élevé qu'un nombre minimum nécessaire pour s'opposer à un déplacement du composant physique suite à l'application de la force externe et pour s'opposer à un changement d'orientation du composant physique suite à l'application de la force externe ; le procédé comprend l'application de la pluralité de forces : (i) en commandant la pluralité de forces afin de s'opposer à la force externe et d'obtenir un équilibre de force et un équilibre de moment du composant physique ; et (ii) en commandant la pluralité de forces afin de commander une déformation élastique du composant physique dans une région d'intérêt sur le composant physique, la pluralité