SYSTEM AND METHOD FOR CONDITION DETECTION

A method of detecting a deviation of a condition of a plurality of regions of a substrate or device using compressive sensing is disclosed. The method can include applying a sequence of patterns of light to the plurality of regions, detecting an interaction of the light with the plurality of regions, and detecting a deviation of a condition of the plurality of regions from a desired condition. La présente invention concerne un procédé de détection d'un écart d'une condition d'une pluralité de régions d'un substrat ou d'un dispositif en utilisant une détection par compression. Le procédé peut comprendre l'application d'une séquence de motifs de lumière sur la pluralité de régions, la détection d'une interaction de la lumière avec la pluralité de régions, et la détection d'un écart d'une condition de la pluralité de régions par rapport à une condition souhaitée.