ULTRAVIOLET SYSTEMS AND METHODS FOR IRRADIATING A SUBSTRATE

A UV system (10) for irradiating a substrate (26) includes a lamphead (16) having an enclosure with an interior. A UV bulb (24) is positioned in the interior and is capable of emitting UV energy when excited by RF energy. The UV system (10) also includes a solid state RF source (12) capable of generating the RF energy. The RF energy is transmitted to the UV bulb (24), which causes the UV bulb (24) to ignite and emit the UV energy from the interior of the lamphead (16). L'invention concerne un système UV (10) d'exposition d'un substrat (26), qui comprend un logement de lampe (16) comportant une enceinte présentant un espace intérieur. Une ampoule UV (24) positionnée dans l'espace intérieur est capable d'émettre de l'énergie UV lorsqu'elle est excitée par de l'énergie RF. Le système UV (10) comprend également une source RF (12) à semi-conducteurs capable de générer l'énergie RF. L'énergie RF est transmise à l'ampoule UV (24), ce qui a pour effet d'allumer l'ampoule UV (24) et de lui faire émettre l'énergie UV depuis l'espace intérieur du logement de lampe (16).