DEVICE FOR THE EXTRACTION OF ELECTRONS IN FIELD EMISSION SYSTEMS AND METHOD TO FORM THE DEVICE
The present invention relates to a device (1) for the extraction of electrons in field emission systems comprising a cathode (2) as electron source, a dielectric grid layer (3) and a conduction layer (4). The device (1) is in the form of a sandwich layered structure with cathode (2), grid layer (3)...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | The present invention relates to a device (1) for the extraction of electrons in field emission systems comprising a cathode (2) as electron source, a dielectric grid layer (3) and a conduction layer (4). The device (1) is in the form of a sandwich layered structure with cathode (2), grid layer (3) and conduction layer (4) arranged in the form of a stack. The invention further relates to a method to form the device (1) comprising steps forming the cathode (2) as electron source on one side of a dielectric substrate, forming the dielectric grid layer (3) within the substrate and forming the conduction layer (4) on the opposite side to the cathode (2) within the substrate.
La présente invention concerne un dispositif (1) permettant l'extraction d'électrons dans des systèmes d'émission par effet de champ, comprenant une cathode (2) à titre de source d'électrons, une couche de grille diélectrique (3) et une couche de conduction (4). Le dispositif (1) est sous la forme d'une structure stratifiée en sandwich, la cathode (2), la couche de grille (3) et la couche de conduction (4) étant disposées sous la forme d'une pile. L'invention concerne également un procédé de formation du dispositif (1), comprenant les étapes consistant à former la cathode (2) à titre de source d'électrons sur un côté d'un substrat diélectrique, à former la couche de grille diélectrique (3) à l'intérieur du substrat et à former la couche de conduction (4) du côté opposé à la cathode (2) à l'intérieur du substrat. |
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