X-RAY DEVICE AND STRUCTURE MANUFACTURING METHOD

In the present invention, an X-ray device is provided with: an X-ray source that emits X-rays as a result of an electron beam reaching a target; a detection unit that detects X-rays which have been emitted from the X-ray source and have passed through a measurement object; and an X-ray source contro...

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1. Verfasser: SAKAGUCHI, NAOSHI
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:In the present invention, an X-ray device is provided with: an X-ray source that emits X-rays as a result of an electron beam reaching a target; a detection unit that detects X-rays which have been emitted from the X-ray source and have passed through a measurement object; and an X-ray source control unit that controls the output of X-rays emitted from the X-ray source on the basis of the configuration information on the measurement object. Selon la présente invention, un dispositif à rayons X est pourvu : d'une source de rayons X qui émet des rayons X en conséquence d'un faisceau d'électrons atteignant une cible ; d'une unité de détection qui détecte les rayons X qui ont été émis à partir de la source de rayons X et qui sont passés par un objet de mesure ; et d'une unité de commande de source de rayons X qui commande la sortie de rayons X émis par la source de rayons X sur la base des informations de configuration sur l'objet de mesure.  X線装置は、電子線がターゲットに到達することによりX線を放射するX線源と、X線源から放射され、被測定物を通過したX線を検出する検出部と、被測定物の構成情報に基づいて、X線源から放射されるX線の出力を制御するX線源制御部とを備える。