APPARATUS AND METHOD FOR NANOPROBING OF ELECTRONIC DEVICES

A method for probing a semiconductor device under test (DUT) using a combination of scanning electron microscope (SEM) and nanoprobes, by: obtaining an SEM image of a region of interest (ROI) in the DUT; obtaining a CAD design image of the ROI; registering the CAD design image with the SEM image to identify contact targets; obtaining a Netlist corresponding to the contact targets and using the Netlist to determine which of the contact targets should be selected as test target; and, navigating nanoprobes to land a nanoprobe on each of the test targets and form electrical contact between the nanoprobe and the respective test target. L'invention concerne un procédé permettant de sonder un dispositif à semi-conducteur soumis à un essai (DUT pour Device Under Test) à l'aide d'une combinaison d'un microscope électronique à balayage (SEM pour Scanning Electron Microscope) et de nanosondes, par : obtention d'une image de microscope électronique à balayage d'une région digne d'intérêt (ROI pour Region Of Interest) dans le dispositif DUT ; obtention d'une image de conception assistée par ordinateur CAD pour Computer-Aided Design) de la région ROI ; enregistrement de l'image de conception CAD avec l'image de microscope électronique à balayage pour identifier des cibles de contact ; obtention d'une liste d'interconnexions correspondant à des cibles de contact et utilisation de la liste d'interconnexions pour déterminer quelles cibles de contact doivent être sélectionnées en tant que cible d'essai ; et navigation de nanosondes pour poser une nanosonde sur chaque cible d'essai et former un contact électrique entre la nanosonde et la cible d'essai respective.