LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING A LITHOGRAPHIC APPARATUS

A lithographic apparatus comprising: a channel (46) for the passage therethrough of a two phase flow, wherein the channel is formed within a block, the block being of a first material (100); a second material (160) between the first material and the channel, wherein the second material has a specifi...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	JEUNINK, ANDRE, BERNARDUS, OVERKAMP, JIM, VINCENT, VY, VAN, VUONG, KOEVOETS, ADRIANUS, HENDRIK, BERENDSEN, CHRISTIANUS, WILHELMUS, JOHANNES, TROMP, SIEGFRIED, ALEXANDER, CORTIE, ROGIER, HENDRIKUS, MAGDALENA, AUDENAERDT, DANIEL, ELZA, ROELAND
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A lithographic apparatus comprising: a channel (46) for the passage therethrough of a two phase flow, wherein the channel is formed within a block, the block being of a first material (100); a second material (160) between the first material and the channel, wherein the second material has a specific heat capacity higher than that of the first material; and a third material (90) between the second material and the channel, wherein the third material has a thermal conductivity higher than that of the second material. La présente invention porte sur un appareil lithographique comprenant : un canal (46) pour le passage à travers ce dernier d'un écoulement à deux phases, le canal étant formé à l'intérieur d'un bloc, le bloc étant d'une première matière (100) ; une deuxième matière (160) entre la première matière et le canal, la deuxième matière ayant une capacité calorifique spécifique supérieure à celle de la première matière ; et une troisième matière (90) entre la deuxième matière et le canal, la troisième matière ayant une conductivité thermique supérieure à celle de la deuxième matière.