OPTICAL SENSOR FOR A COORDINATE MEASURING MACHINE AND ILLUMINATION MODULE FOR SUCH AN OPTICAL SENSOR AND METHOD FOR MEASURING FEMALE THREADS OR DRILLED HOLES OF A WORKPIECE USING THE OPTICAL SENSOR OR ILLUMINATION MODULE

Die Erfindung betrifft einen Optischer Sensor (31a; 31b; 31c; 31d; 31e) bzw. ein Beleuchtungsmodul (41a; 41b; 41c; 41d; 41e) für ein Koordinatenmessgerät, wobei ein Umlenkelement (6a; 6f) auf dem Hinweg des Lichts für eine Umlenkung auf die Oberfläche (7a) eines zu vermessenden Werkstücks (7) sorgt, wobei durch das Umlenkelement (6a; 6f) der Fokusbereich des Sensors (31a; 31b; 31c; 31d; 31e) zumindest teilweise bogenförmig ausgebildet wird und wobei ein Detektor (10) des Sensors (31a; 31b; 31c; 31d; 31e) flächenmäßig zur Erfassung von Intensitätssignalen von Licht aus diesem Fokusbereich ausgebildet ist, wobei ein diffraktives optisches Element (5f) und / oder ein optisches Element mit einer Freiformoberfläche (5f; 6f) auf dem Hinweg angeordnet ist, wobei zwischen der Lichtquelle (1) und dem diffraktiven optischen Element und / oder dem optischen Element mit der Freiformoberfläche (5f; 6f) eine bewegliches und / oder veränderbares optisches Element (MMA; 3) angeordnet ist und wobei mit Hilfe des beweglichen und / oder veränderbaren optischen Elements (MMA; 3) der Auftreff ort des Lichts auf dem diffraktiven optischen Element (5f) und / oder dem optischen Element mit der Freiformoberfläche (5f; 6f) auf dem Hinweg verändert werden kann. The invention relates to an optical sensor (31a; 31b; 31c; 31d; 31e) or an illumination module (41a; 41b; 41c; 41d; 41e) for a coordinate measuring machine, wherein a deflection element (6a; 6f) ensures a deflection onto the surface (7a) of a workpiece (7) to be measured on the outward path of the light, wherein the focal region of the sensor (31a; 31b; 31c; 31d; 31e) has an at least partly arcuate embodiment as a result of the deflection element (6a; 6f) and wherein a detector (10) of the sensor (31a; 31b; 31c; 31d; 31e) is embodied in a planar manner for registering intensity signals of light from this focal region, wherein a diffractive optical element (5f) and/or an optical element with a free-form surface (5f; 6f) is arranged on the outward path, wherein a movable and/or changeable optical element (MMA; 3) is arranged between the light source (1) and the diffractive optical element and/or the optical element with the free-form surface (5f; 6f) and wherein the point of incidence of the light on the diffractive optical element (5f) and/or on the optical element with the free-form surface (5f; 6f) on the outward path can be modified with the aid of the movable and/or changeable optical element (MMA; 3). L'invention concerne