POLLUTANT MONITORING DEVICE

The present invention relates to a pollutant monitoring device and, more particularly, to a pollutant monitoring device which is formed in the same form as a transport enclosure or a transport cassette of a track traveling type automatic transport apparatus which transports a semiconductor wafer used in a semiconductor manufacture line or transports a display glass in a display panel manufacture line, and which is configured to comprise, inside a main body, a sample obtaining means for obtaining samples collected while being transported by the track traveling type automatic transport apparatus, or a sensing means for sensing noxious compounds in the air in real time, or an analysis means for analyzing collected air in real time, thereby being capable of measuring pollutants in plural points on the semiconductor manufacture line or the display panel manufacture line by utilizing the existing apparatus, remotely obtaining samples, and conducting real-time monitoring. La présente invention concerne un dispositif de surveillance de polluants et, plus particulièrement, un dispositif de surveillance de polluants qui est formé dans la même forme qu'une enceinte de transport ou une cassette de transport d'un appareil de transport automatique de type à déplacement à chenilles qui transporte une plaquette de semi-conducteur utilisée dans une ligne de fabrication de semi-conducteur ou qui transporte un verre d'écran dans une ligne de fabrication de panneau d'affichage, et qui est conçu pour comprendre, à l'intérieur d'un corps principal, un moyen d'obtention d'échantillon permettant d'obtenir des échantillons collectés tout en étant transportés par l'appareil de transport automatique de type à déplacement à chenilles, ou un moyen de détection permettant de détecter des composés nocifs dans l'air en temps réel, ou un moyen d'analyse permettant d'analyser l'air collecté en temps réel, ce qui permet ainsi de mesurer des polluants à plusieurs emplacements sur la ligne de fabrication de semi-conducteur ou la ligne de fabrication de panneau d'affichage en utilisant l'appareil existant, en obtenant des échantillons à distance, et en effectuant une surveillance en temps réel. 본 발명은 오염물질 모니터링 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게 반도체 제조 라인에서 사용되는 반도체 웨이퍼나, 디스플레이 패널 제조 라인에서 디스플레이 글라스를 운송하는 궤도 주행형 자동 운송 장치의 운송 인클로저 또는 운송 카세트와 동일한 형태로 제조되며, 상기 궤도 주행형 자동 운송 장치에 의해 이송되는 과정에서 수집되는 시료를 포집하는 시료포집수단, 또는 공기 내 유해화합물을 실시간 감지하는 센싱수단이나, 수집된 공기를 실시간 분석하는 분석수단이 본체 내부에 구비되도록 형성됨으로써, 기존의 장치를 활용하여 반도체 제조 라인 또는 디