SPUTTERING APPARATUS

A magnetron assembly for a rotary target cathode comprises an elongated support structure, a magnet bar structure movably positioned below the support structure, and a plurality of drive modules coupled to the support structure. The drive modules each include a motorized actuation mechanism operatively coupled to the magnet bar structure. A controller and battery module is coupled to the support structure and is in operative communication with the drive modules. The controller and battery module includes an electronic controller and at least one rechargeable battery. The battery is configured to energize each motorized actuation mechanism and the electronic controller. One or more power generation modules is coupled to the support structure and in electrical communication with the battery, such that electrical energy output from the power generation modules recharges the battery. Un ensemble magnétron destiné à une cathode cible rotative comprend une structure de support allongée, une structure de barre d'aimant positionnée amovible au-dessous de la structure de support, et une pluralité de modules d'entraînement accouplés à la structure de support. Les modules d'entraînement comprennent chacun un mécanisme d'actionnement motorisé accouplé de manière fonctionnelle à la structure de barre d'aimant. Un module de dispositif de commande et de batterie est accouplé à la structure de support et se trouve en communication fonctionnelle avec les modules d'entraînement. Le module de dispositif de commande et de batterie comprend une unité de commande électronique et au moins une batterie rechargeable. La batterie est conçue pour exciter chaque mécanisme d'actionnement motorisé et le dispositif de commande électronique. Un ou plusieurs modules de production de puissance est accouplé à la structure de support et se trouve en communication électrique avec la batterie, de sorte que l'énergie électrique émise en sortie par les modules de production de puissance recharge la batterie.