LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD FOR POSITIONING AN OBJECT IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

The invention relates to a lithographic apparatus comprising: a first object, a second object which is moveable relative to the first object in a moving direction, a set of cables and/or tubing arranged between the first object and the second object, a guiding drum to guide the set of cables and/or tubing, said guiding drum being rotatable about a rotation axis extending perpendicular to the moving direction, a drum positioning device to position the guiding drum such that it follows movement of the set of cables and/or tubing caused by movement of the second object relative to the first object and a guiding structure to guide movement of the guiding drum in the moving direction. L'invention concerne un appareil lithographique comprenant : un premier objet, un second objet qui est mobile par rapport au premier objet dans une direction de déplacement, un ensemble de câbles et/ou tuyaux disposés entre le premier objet et le second objet, un tambour de guidage pour guider l'ensemble de câbles et/ou tuyaux, ledit tambour de guidage pouvant pivoter autour d'un axe de rotation s'étendant en perpendiculaire par rapport à la direction de déplacement, un dispositif de positionnement de tambour pour positionner le tambour de guidage de telle sorte qu'il suive le déplacement de l'ensemble de câbles et/ou tuyaux causé par le déplacement du second objet par rapport au premier objet et une structure de guidage pour guider le déplacement du tambour de guidage dans la direction de déplacement.