SPAN LINE PRESSURE EFFECT COMPENSATION FOR DIAPHRAGM PRESSURE SENSOR

A differential pressure sensor (56) for sensing a differential pressure of a process fluid, includes a sensor body (114, 116) having a sensor cavity (132, 134) formed therein with a cavity profile. A diaphragm (106) in the sensor cavity deflects in response to an applied differential pressure. The diaphragm (106) has a diaphragm profile. A gap formed between the cavity profile and the diaphragm profile changes as a function of the differential pressure. At least one of the cavity profile and diaphragm profile changes as a function of a line pressure to compensate for changes in the gap due to deformation of the sensor body from the line pressure. Selon la présente invention, un capteur de pression différentielle (56) pour détecter une pression différentielle d'un fluide de traitement, comprend un corps de capteur (114, 116) ayant une cavité de capteur (132, 134) formée à l'intérieur de celui-ci avec un profil de cavité. Un diaphragme (106) dans la cavité de capteur se déforme en réponse à une pression différentielle appliquée. Le diaphragme (106) a un profil de diaphragme. Un espacement formé entre le profil de cavité et le profil de diaphragme varie en fonction de la pression différentielle. Au moins l'un du profil de cavité et du profil de diaphragme varie en fonction d'une pression de fluide afin de compenser les variations de l'espacement causées par la déformation du corps de capteur due à la pression de fluide.