LASER ABLATION PLATFORM FOR SOLAR CELLS

Embodiments of the present invention relate to apparatus and methods for laser forming of holes in a substrate. In one embodiment, a laser scanning apparatus includes a movable transport assembly, and an optical device disposed adjacent the movable transport assembly, wherein the optical device comprises a polygonal mirror having a plurality of reflecting facets and an axis of rotation, an actuator configured to rotate the polygonal mirror relative to the axis of rotation, and a laser source positioned to direct electromagnetic radiation to at least one of the reflecting facets of the polygonal mirror, wherein the movable transport assembly is configured to position a substrate to receive the electromagnetic radiation reflected from the reflecting facets of the polygonal mirror. Des modes de réalisation de la présente invention concernent un appareil et des procédés pour la formation par laser de trous dans un substrat. Selon un mode de réalisation, un appareil de balayage laser comprend un ensemble de transport mobile et un dispositif optique disposé adjacent à l'ensemble de transport mobile, lequel dispositif optique comprend un miroir polygonal ayant une pluralité de facettes réfléchissantes et un axe de rotation, un actionneur conçu pour mettre le miroir polygonal en rotation par rapport à l'axe de rotation, et une source laser positionnée pour diriger le rayonnement électromagnétique sur au moins une des facettes réfléchissantes du miroir polygonal, lequel ensemble de transport mobile est conçu pour positionner un substrat afin qu'il reçoive le rayonnement électromagnétique réfléchi à partir des facettes réfléchissantes du miroir polygonal.