FLUORINATED AND HYDROGENATED DIAMOND-LIKE CARBON MATERIALS FOR ANTI-REFLECTIVE COATINGS

Fluorinated and hydrogenated diamond-like carbon ("DLC-FH") that have unique optical properties differ as a class from the existing DLC art, whose refractive indices [n] are limited to rather high values above a lower threshold of 1.7, and can range up to about 2.7. The DLC-FH materials can achieve very low refractive indices at 550 nm wavelength. [n550], i.e., below 1.5, and especially demonstrated down to 1.3. Moreover, whereas the absorption for the existing DLC art, as quantified by the extinction coefficient [k] at a wavelength of 550 nm, [k550], is limited to about 0.04, our DLC-FH material can achieve [k550] below 0.01. Both of these attributes, i.e., low [n550] and low [k550) means that, for the first time, a carbon-based material as represented by the DLC-FH material, can be used for anti-reflection (AR) coating. Les matériaux carbonés semblables au diamant, fluorés et hydrogénés, (« DLC-FH ») présentant des propriétés optiques uniques sont d'une classe différente de celle existant dans l'état de la technique des DLC, dans laquelle les indices de réfraction [n] sont limités à des valeurs plutôt élevées au-dessus d'un seuil inférieur de 1,7, et peuvent aller jusqu'à environ 2,7. Les matériaux DLC-FH permettent d'obtenir de très faibles indices de réfraction à une longueur d'onde de 550 nm, [n550], c'est-à-dire inférieurs à 1,5, et pouvant aller spécifiquement jusqu'à 1,3. De plus, alors que dans l'état de la technique des DLC, l'absorption des DLC existants, telle que quantifiée par le coefficient d'extinction [k] à une longueur d'onde de 550 nm, [k550], est limitée à environ 0,04, notre matériau DLC-FH peut atteindre un [k550] inférieur à 0,01. Ces deux attributs, à savoir un [n550] faible et un [k550] faible, impliquent que, pour la première fois, un matériau à base de carbone, dont le matériau DLC-FH est un représentant, peut être utilisé comme revêtement anti-reflet (AR).