SYSTEM AND METHOD FOR MEASURING PROPERTIES OF A CHARGED PARTICLE BEAM

A system is disclosed for measuring properties of a charged particle beam (8) output by a charged particle beam generator (15). The system comprises: a probe assembly (21), a beam deflection control module (23) and a detection module (22). The probe assembly comprises a plurality of probes (30) arrayed across a plane on a mount, each probe comprising at least two elongate, electrically conductive elements (32, 33, 34) arranged such that their respective elongate directions make a non-zero angle with one another in the plane of the array. The beam deflection control module is adapted to control the deflection of the charged particle beam along a measurement path which crosses sequentially at least two of the elongate, electrically conductive elements of at least one of the probes. The detection module is connected to the electrically conductive elements of each of the plurality of probes, and is adapted to detect electric signals output sequentially by the electrically conductive elements of each probe upon intersection of the charged particle beam therewith. The detected electric signals from each probe are indicative of properties of the charged particle beam when directed to the location of the respective probe across the probe assembly by the charged particle beam generator. A corresponding method of measuring properties of a charged particle beam output by a charged particle beam generator is also disclosed. Cette invention concerne un système de mesure des propriétés d'un faisceau de particules chargées (8) émis par un générateur de faisceau de particules chargées (15). Ledit système comprend : un ensemble sonde (21), un module de commande de déviation de faisceau (23) et un module de détection (22). Ledit ensemble sonde comprend une pluralité de sondes (30) disposées en réseau sur une monture à travers un plan, chaque sonde comprenant au moins deux éléments conducteurs allongés (32, 33, 34) agencés de telle sorte que leurs axes longs forment entre eux un angle non nul dans le plan du réseau. Ledit module de commande de déviation de faisceau est conçu pour commander la déviation du faisceau de particules chargées le long d'un trajet de mesure qui traverse séquentiellement au moins deux des éléments conducteurs allongés d'au moins une des sondes. Ledit module de détection est connecté aux éléments conducteurs de chacune de la pluralité de sondes, et il est conçu pour détecter des signaux électriques émis séquentiellement par les éléments conducteurs de