LOW EXPANSION SILICA-TITANIA ARTICLES WITH A Tzc GRADIENT BY COMPOSITIONAL VARIATION

A glass article for use in Extreme Ultra Violet Lithography (EUVL) is provided. The glass article includes a silica-titania glass having a compositional gradient through the glass article, the compositional gradient being defined by the functions: [TiO2] = (c + f(x,y,z)), and [SiO2] = (100 - {c + f(x,y,z)} - δ(x,y,z) ) wherein [TiO2] is the concentration of titania in wt.%, [SiO2] is the concentration of silica in wt.%, c is the titania concentration in wt.% for a predetermined zero crossover temperature (Tzc), f(x,y,z) is a function in three-dimensional space that defines the difference in average composition of a volume element centered at the coordinates (x,y,z) with respect to c, and δ(x,y,z) is a function in three-dimensional space that defines the sum of all other components of a volume element centered at the coordinates (x,y,z). Cette invention concerne un article en verre pouvant être utilisé en lithographie par extrême ultraviolet (LEUV). L'article en verre comprend un verre à base de silice-oxyde de titane ayant un gradient compositionnel de part et d'autre de l'article en verre, le gradient compositionnel étant défini par les fonctions : [TiO2] = (c + f(x,y,z)), et [SiO2] = (100 - {c + f(x,y,z)} - δ(x,y,z) ) où [TiO2] est la concentration d'oxyde de titane en % en poids, [SiO2] est la concentration de silice en % en poids, c est la concentration d'oxyde de titane en % en poids pour une température de passage par zéro prédéfinie (Tzc), f(x,y,z) est une fonction dans l'espace tridimensionnel qui définit la différence de composition moyenne d'un élément de volume centré sur les coordonnées (x,y,z) par rapport à c, et δ(x,y,z) est une fonction dans l'espace tridimensionnel qui définit la somme de tous les autres composants d'un élément de volume centré sur les coordonnées (x,y,z).