SUPPORT DEVICE, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

A support device (2) configured to support a first part relative to a second part, minimizing the transfer of vibration between the two parts, includes: a supporting system (20) configured to use gas under pressure to provide a support force between the first and second parts; a gas chamber (30) connected to the supporting system and configured to contain the gas under pressure and provide the gas under pressure to the supporting section; and a section of acoustic damping material (40), arranged at a location within the gas chamber such that it separates first and second gas containing regions within the gas chamber on either side of the section of acoustic damping material. L'invention concerne un dispositif de support (2) configuré pour supporter une première pièce par rapport à une seconde pièce, pour réduire à un minimum le transfert des vibrations entre les deux pièces, ledit dispositif comprenant : un système de support (20) configuré pour utiliser un gaz sous pression afin de fournir une force de support entre la première et la seconde pièce ; une chambre à gaz (30) raccordée au système de support et configurée pour contenir le gaz sous pression et fournir le gaz sous pression à la section de support ; et une section de matériau d'amortissement acoustique (40) agencée à un endroit dans la chambre à gaz de manière à séparer une première et une seconde région contenant un gaz dans la chambre à gaz sur l'un ou l'autre côté de la section de matériau d'amortissement acoustique.