ROBUST INERTIAL SENSORS

In one embodiment, a sensor includes a rigid wafer outer body, a first cavity located within the rigid wafer outer body, a first spring supported by the rigid wafer outer body and extending into the first cavity, a second spring supported by the rigid wafer outer body and extending into the first ca...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BAUS, MICHAEL, KIM, BONSANG, O'BRIEN, GARY, FEYH, ANDO, KOC, MARIUSZ, MAIER, RALF, GRAHAM, ANDREW
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PHYSICS TARIFF METERING APPARATUS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	In one embodiment, a sensor includes a rigid wafer outer body, a first cavity located within the rigid wafer outer body, a first spring supported by the rigid wafer outer body and extending into the first cavity, a second spring supported by the rigid wafer outer body and extending into the first cavity, and a first sensor structure supported by the first spring and the second spring within the first cavity. Selon un mode de réalisation, un capteur comprend un corps extérieur de tranche rigide, une première cavité positionnée à l'intérieur du corps extérieur de tranche rigide, un premier ressort soutenu par le corps extérieur de tranche rigide et s'étendant dans la première cavité, un second ressort soutenu par le corps extérieur de tranche rigide et s'étendant dans la première cavité, et une première structure de capteur soutenue par le premier ressort et le second ressort à l'intérieur de la première cavité.