COLD STRIPPER FOR HIGH ENERGY ION IMPLANTER WITH TANDEM ACCELERATOR

A cold stripper for a high-energy ion implanter system is provided. The cold stripper including a stripper tube having a hollow cavity, a first aperture in the stripper tube to admit an ion beam of positively charged ions into the hollow cavity and a second aperture in the stripper tube to discharge the ion beam from the hollow cavity, a gas pump coupled to the hollow cavity to introduce a gas into the hollow cavity, one or more cooling passages in the stripper tube, and a coolant pump coupled to the one or more cooling passages to circulate a coolant through the one or more cooling passages. L'invention porte sur un dispositif de stripage à froid pour un système d'implanteur d'ions à énergie élevée. Le dispositif de stripage à froid comprend un tube de stripage ayant une cavité creuse, une première ouverture dans le tube de stripage pour admettre un faisceau d'ions chargés positivement dans la cavité creuse et une seconde ouverture dans le tube de stripage pour émettre le faisceau d'ions en provenance de la cavité creuse, une pompe de gaz accouplée à la cavité creuse pour introduire un gaz dans la cavité creuse, un ou plusieurs passages de refroidissement dans le tube de stripage, et une pompe de liquide de refroidissement couplée audit passage de refroidissement pour faire circuler un liquide de refroidissement dans ledit passage de refroidissement.