PLASMA NITRIDING APPARATUS

This plasma nitriding apparatus is provided with: a surface treatment section (10), which includes a treatment tank (11) that contains a part of a subject to be treated (1) that includes a surface treatment region (2), and which nitrides, in the treatment tank (11), the surface treatment region (2) by means of plasma of a treatment gas (30); and an outer container (20), which is supplied with the treatment gas (30), and which contains the subject to be treated (1) and the treatment tank (11) in a state wherein subject to be treated (1) parts other than the part are exposed from the treatment tank (11). La présente invention concerne un appareil de nitruration au plasma qui comprend : une section (10) de traitement de surface, qui comprend un réservoir (11) de traitement qui contient une partie d'un objet à traiter (1) qui comprend une zone (2) de traitement de surface et qui nitrure, dans le réservoir (11) de traitement, la zone (2) de traitement de surface à l'aide de plasma d'un gaz (30) de traitement ; et un récipient (20) extérieur, qui est alimenté en gaz (30) de traitement et qui contient l'objet à traiter (1) et le réservoir (11) de traitement dans un état dans lequel des parties du sujet susceptibles d'être traitées (1) autres que la partie sont mises à nu à partir du réservoir (11) de traitement. プラズマ窒化装置は、表面処理領域（２）を含む被処理体（１）の一部を収容する処理槽（１１）を含み、処理槽（１１）の内部で処理ガス（３０）のプラズマによる表面処理領域（２）の窒化処理を行う表面処理部（１０）と、処理ガス（３０）が供給され、被処理体（１）と処理槽（１１）とを、被処理体（１）の前記一部以外の部位が処理槽（１１）から露出した状態で収容する外部容器（２０）とを備える。