FLEXIBLE MICROMACHINED TRANSDUCER DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING SAME

Techniques and structures for providing flexibility of a micromachined transducer array. In an embodiment, a transducer array includes a plurality of transducer elements each comprising a piezoelectric element and one or more electrodes disposed in or on a support layer. The support layer is bonded to a flexible layer including a polymer material, wherein flexibility of the transducer array results in part from a total thickness of a flexible layer. In another embodiment, flexibility of the transducer array results in part from one or more flexural structures formed therein. L'invention concerne des techniques et des structures pour apporter de la souplesse à un réseau de transducteurs micro-usinés. Dans un mode de réalisation, un réseau de transducteurs comprend plusieurs éléments de transducteurs comprenant chacun un élément piézoélectrique et une ou plusieurs électrodes disposées dans ou sur une couche de support. La couche de support est collée à une couche souple comprenant un matériau polymère, la souplesse du réseau de transducteurs résultant en partie de l'épaisseur totale de la couche souple. Dans un autre mode de réalisation, la souplesse du réseau de transducteurs résulte en partie d'une ou de plusieurs structures de flexion formées dans celui-ci.