TERMINATION STRUCTURE AND FABRICATION METHOD THEREOF

A semiconductor device comprises a shielded gate (SHG) transistor in an active region of a substrate, the active region being surrounded by a termination region, and a first poly-silikon layer in the SHG transistor. The first poly-silicon layer extends over and into the termination region. L'in...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: CHUANG, CHIAO-SHUN, LIN, CHE-YUNG, HUANG, CHENGIN, CHEN, KAIYU
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:A semiconductor device comprises a shielded gate (SHG) transistor in an active region of a substrate, the active region being surrounded by a termination region, and a first poly-silikon layer in the SHG transistor. The first poly-silicon layer extends over and into the termination region. L'invention concerne un dispositif à semi-conducteurs qui comprend un transistor à grille blindée (SHG) dans une région active d'un substrat, la région active étant entourée par une région de terminaison, et une première couche de polysilicium dans le transistor SHG. La première couche de polysilicium s'étend sur et dans la région de terminaison.