PATTERN MEASUREMENT DEVICE AND COMPUTER PROGRAM

The present invention is: a pattern measurement device that, regardless of increased fineness, deviation, or the like of a pattern, accurately and stably performs a measurement on the basis of an edge identification or a pattern or edge judgment; and a computer program. The pattern measurement device classifies pattern sites (G1, G2, G3, G4), which are repeatedly arrayed at a specific interval, in accordance with the position of the pattern sites, and executes a pattern edge type identification, a pattern type identification, or a measurement of the dimensions between predetermined pattern sites on the basis of an association between the classified pattern sites and information pertaining to the pattern edge type or information pertaining to the pattern type. The computer program causes a computer to execute the abovementioned process. La présente invention concerne : un dispositif de mesure de motifs qui, indépendamment de la finesse accrue, de l'écart ou analogue d'un motif, réalise de manière précise et stable une mesure sur la base d'une identification de bord ou d'une évaluation de motif ou de bord ; et un programme informatique. Le dispositif de mesure de motifs classifie des sites de motifs (G1, G2, G3, G4), qui sont mis en réseau de façon répétée à intervalles spécifiques, conformément à la position des sites de motifs, et exécute une identification du type de bord de motif, une identification du type de motif, ou une mesure des dimensions entre des sites de motifs prédéfinis sur la base d'une association entre les sites de motifs classés et des informations relatives au type de bord de motif ou aux informations relatives au type de motif. Le programme informatique amène un ordinateur à exécuter le procédé susmentionné. 本発明は、パターンの微細化やずれ等によらず、正確且つ安定してパターンやエッジの判定、或いはエッジの特定に基づく測定を行うパターン測定装置、及びコンピュータプログラムである。本発明では特定の間隔で繰り返し配列されているパターン部位（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４）を、パターン部位の位置に応じて分類し、当該分類されたパターン部位と、パターンのエッジの種類に関する情報、或いはパターンの種類に関する情報との対応付けに基づいて、パターンのエッジの種類の特定、パターンの種類の特定、或いは所定のパターン部位間の寸法測定を実行するパターン測定装置、及び上記処理をコンピュータに実行させるコンピュータプログラムが提供される。