DEFECT INSPECTION SYSTEM AND METHOD

A defect inspection system is provided for inspection of defects in the surface of a sample. An array of light sources is used, with different light sources providing light to the sample from different directions. A main direction of illumination is defined with highest intensity, and this direction evolves over time. By providing varying directional illumination instead of blanket illumination, it becomes easier to detect defects. La présente invention concerne un système d'inspection de défaut permettant d'inspecter les défauts de la surface d'un échantillon. Un réseau de sources de lumière est utilisé, différentes sources de lumière éclairant l'échantillon à partir de directions différentes. Une direction principale d'éclairage est définie avec l'intensité la plus élevée, et cette direction change au cours du temps. Grâce à l'utilisation d'un éclairage à direction variable plutôt que d'un éclairage global, la détection des défauts devient plus facile.