A METHOD FOR CONTROLLING THE POSITION OF A MEMS MIRROR

According to the present invention there is provided a method of controlling the position of a MEMS mirror in a MEMS device, wherein the MEMS device comprises, a MEMS mirror, a magnet which provides a magnetic field (B), an actuating means which operatively cooperates with the MEMS mirror so that it can apply a force to the MEMS mirror which can tilt the MEMS mirror about at least one rotational axis when the actuating means is provided with a drive signal, wherein the magnitude force applied by the actuating means to the MEMS mirror is dependent on the amplitude of the drive signal, and a detection coil which is mounted on the MEMS mirror, the method comprising the steps of, detecting a change in the resistance (R) of the detection coil so as to detect a change in temperature of the MEMS mirror; determining the drive signal amplitude required to maintain the MEMS mirror at a predefined angular position (Θ); providing the actuating means with a drive signal which has an amplitude which is equal to the determined drive signal amplitude La présente invention concerne un procédé de commande de la position d'un miroir MEMS dans un dispositif MEMS. Le dispositif MEMS comprend : un miroir MEMS; un aimant qui délivre un champ magnétique (B); un moyen d'actionnement qui coopère fonctionnellement avec le miroir MEMS de manière à pouvoir appliquer au miroir MEMS une force susceptible de l'incliner autour d'au moins un axe de rotation lorsqu'il est délivré un signal d'entraînement au moyen d'actionnement, la force de l'intensité appliquée par le moyen d'actionnement au miroir MEMS étant fonction de l'intensité du signal d'entraînement; et une bobine de détection montée sur le miroir MEMS. Le procédé comprend les étapes consistant à : détecter une variation de la résistance (R) de la bobine de détection de façon à détecter une variation de la température du miroir MEMS; déterminer l'intensité du signal d'entraînement nécessaire pour maintenir le miroir MEMS en une position angulaire prédéfinie (Θ); et délivrer au moyen d'actionnement un signal d'entraînement ayant une intensité égale à l'intensité du signal d'entraînement déterminée.