APPLICATION OF ELECTRON-BEAM INDUCED PLASMA PROBES TO INSPECTION, TEST, DEBUG AND SURFACE MODIFICATIONS

An electron-beam induced plasmas is utilized to establish a non-mechanical, electrical contact to a device of interest. This plasma source may be referred to as atmospheric plasma source and may be configured to provide a plasma column of very fine diameter and controllable characteristics. The plasma column traverses the atmospheric space between the plasma source into the atmosphere and the device of interest and acts as an electrical path to the device of interest in such a way that a characteristic electrical signal can be collected from the device. Additionally, by controlling the gases flowing into the plasma column the probe may be used for surface modification, etching and deposition. Un plasma induit par faisceau électronique selon l'invention est utilisé pour établir un contact électrique non mécanique avec un dispositif d'intérêt. Cette source de plasma peut être appelée source de plasma atmosphérique et peut être configurée pour fournir une colonne de plasma de diamètre extrêmement fin et de caractéristiques contrôlables. La colonne de plasma traverse l'espace atmosphérique entre la source de plasma dans l'atmosphère et le dispositif d'intérêt et fait office de trajet électrique pour le dispositif d'intérêt de telle manière qu'un signal électrique caractéristique puisse être collecté à partir du dispositif. En outre, en contrôlant les gaz circulant dans la colonne de plasma, la sonde peut être utilisée pour la modification de surface, la gravure et le dépôt.