CMUT DEVICE MANUFACTURING METHOD, CMUT DEVICE AND APPARATUS

Disclosed is a method of manufacturing a capacitive micro-machined ultrasonic transducer (CMUT) device comprising a first electrode (112) on a substrate (110) and a second electrode (122) embedded in an electrically insulating membrane, the first electrode and the membrane being separated by a cavity (130) formed by the removal of a sacrificial material (116) in between the first electrode and the membrane, the method comprising forming a membrane portion (22) on the second electrode and a further membrane portion (24) extending from the membrane portion towards the substrate alongside the sacrificial material, wherein the respective thicknesses the membrane portion and the further membrane portion exceed the thickness of the sacrificial material prior to forming said cavity. A CMUT device manufactured in accordance with this method and an apparatus comprising such a CMUT device are also disclosed. L'invention porte sur un procédé de fabrication d'un dispositif de transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif (CMUT), lequel dispositif comporte une première électrode (112) sur un substrat (110) et une seconde électrode (122) incorporée dans une membrane électriquement isolante, la première électrode et la membrane étant séparées par une cavité (130) formée par l'élimination d'un matériau sacrificiel (116) entre la première électrode et la membrane, ledit procédé comprenant la formation d'une partie de membrane (22) sur la seconde électrode et d'une autre partie de membrane (24) s'étendant de la partie de membrane vers le substrat le long du matériau sacrificiel, les épaisseurs respectives de la partie de membrane et de l'autre partie de membrane dépassant l'épaisseur du matériau sacrificiel avant la formation de ladite cavité. L'invention porte également sur un dispositif de transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif fabriqué selon ce procédé et sur un appareil comportant un tel dispositif de transducteur à ultrasons micro-usiné capacitif.