LASER POWER AND ENERGY SENSOR UTILIZING ANISOTROPIC THERMOELECTRIC MATERIAL

A laser-radiation sensor includes a copper substrate on which is grown an oriented polycrystalline buffer layer surmounted by an oriented polycrystalline sensor-element of an anisotropic transverse thermoelectric material. An absorber layer, thermally connected to the sensor -element, is heated by laser-radiation to be measured and communicates the heat to the sensor-element, causing a thermal gradient across the sensor-element. Spaced-apart electrodes in electrical contact with the sensor-element sense a voltage corresponding to the thermal gradient as a measure of the incident laser-radiation power. At least two protection layers are positioned between the sensor layer and the absorber layer. La présente invention concerne un capteur de rayonnement laser comprenant un substrat de cuivre sur laquelle est formée une couche tampon polycristalline orientée surmontée d'un élément de capteur polycristallin orienté à base d'un matériau thermoélectrique transversal anisotrope. Une couche d'absorbeur, en connexion thermique avec l'élément de capteur, est chauffée par un rayonnement laser à mesurer et communique la chaleur à l'élément de capteur, ce qui provoque la formation d'un gradient thermique à travers l'élément de capteur. Des électrodes séparées en contact électrique avec l'élément de capteur détectent une tension correspondant au gradient thermique en tant que mesure de la puissance du rayonnement laser incident. Au moins deux couches de protection sont positionnées entre la couche de capteur et la couche d'absorbeur.