FLUIDIZED BED ATOMIC LAYER DEPOSITION DEVICE FOR MANUFACTURING NANOCOATING PARTICLES

Disclosed is a fluidized bed atomic layer deposition device for manufacturing nanocoating particles. A fluidized bed atomic layer deposition device according to an embodiment of the present invention comprises: a fluidized bed reactor, into which particles to be coated are injected; a reaction material supply unit for supplying reaction gases for coating the particles to be coated into the fluidized bed reactor; and a vibration pump coupled to the fluidized bed reactor such that the reaction gases can move therethrough, the vibration pump giving the reaction gasses regular vibration and thereby forming a turbulence inside the fluidized bed reactor. L'invention porte sur un dispositif de dépôt de couches atomiques à lit fluidisé pour la fabrication de particules portant un nanorevêtement. Le dispositif de dépôt de couches atomiques à lit fluidisé selon un mode de réalisation de la présente invention comprend : un réacteur à lit fluidisé, dans lequel des particules à revêtir sont injectées ; une unité d'apport de substances réactionnelles pour l'apport de gaz réactionnels pour le revêtement des particules à revêtir dans le réacteur à lit fluidisé ; et une pompe vibrante couplée au réacteur à lit fluidisé de façon à ce que les gaz réactionnels puissent se déplacer dans celui-ci, la pompe vibrante imprimant aux gaz réactionnels une vibration régulière et formant de cette manière une turbulence à l'intérieur du réacteur à lit fluidisé.