INTERNAL CHAMBER ROTATION MOTOR, ALTERNATIVE ROTATION
Embodiments of the present invention generally relate to a rotation device in an RTP chamber. The rotation device includes a cylindrical inner race, a plurality of thrust bearings and a plurality of radial bearings. During operation, the bearings create a gas cushion preventing the rotating parts fr...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; fre |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | Embodiments of the present invention generally relate to a rotation device in an RTP chamber. The rotation device includes a cylindrical inner race, a plurality of thrust bearings and a plurality of radial bearings. During operation, the bearings create a gas cushion preventing the rotating parts from contacting the stationary parts.
L'invention concerne d'une façon générale, par ses modes de réalisation, un dispositif de rotation équipant l'intérieur d'une chambre de traitement thermique rapide. Ce dispositif de rotation comporte une voie de roulement interne cylindrique, une pluralité de paliers de butée, et une pluralité de roulements radiaux. Pendant le fonctionnement, les roulements créent un coussin de gaz empêchant le contact entre les pièces en rotation et les pièces stationnaires. |
|---|