HEMISPHERICAL SCANNING OPTICAL SCATTEROMETER

A hemispherical scanning optical scatteronieter and method for its use for measuring scattered radiation, with a reflected scatter measurement laser, and/or a transmitted scatter measurement laser, an array of optical detectors, a computer controlled system to rotate the array of optical detectors,...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	STOVER, JOHN, HEGSTROM, ERIC
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A hemispherical scanning optical scatteronieter and method for its use for measuring scattered radiation, with a reflected scatter measurement laser, and/or a transmitted scatter measurement laser, an array of optical detectors, a computer controlled system to rotate the array of optical detectors, an electronic system, a computer interface and a computer for processing the signal. L'invention concerne un diffusiomètre optique à balayage hémisphérique et un procédé pour son utilisation pour mesurer un rayonnement diffusé, possédant un laser de mesure à diffusion réfléchie, et/ou un laser de mesure à diffusion transmise, une matrice de détecteurs optiques, un système commandé par ordinateur pour faire tourner la matrice de détecteurs optiques, un système électronique, une interface informatique et un ordinateur permettant de traiter le signal.