DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE REACTING APPARATUS FOR PRODUCING DISILANE, TRISILANE, AND TETRASILANE

The present invention relates to a dielectric barrier discharge reacting apparatus for producing disilane, trisilane, and tetrasilane and, more specifically, to a dielectric barrier discharge reacting apparatus for producing disilane, trisilane, and tetrasilane, which is capable of producing not only disilane but also trisilane and tetrasilane from silane in a continuous process, and which comprises therein: a discharge electrode rod connected to a high-frequency apparatus; and a porous tube surrounding the outside of the discharge electrode rod, the reacting apparatus having a high yield as well as being capable of continuously producing disilane, trisilane, and tetrasilane from silane by adjusting the material of the discharge electrode rod, the distance between the discharge electrode rod and porous tube, and the like. La présente invention concerne un appareil de réaction par décharge à barrière diélectrique pour la production de disilane, de trisilane, et de tétrasilane et, plus spécifiquement, un appareil de réaction par décharge à barrière diélectrique pour la production de disilane, de trisilane, et de tétrasilane, qui est apte à produire non seulement du disilane mais également du trisilane et du tétrasilane à partir de silane en un processus continu, et qui comporte : une tige d'électrode de décharge reliée à un appareil à haute fréquence ; et un tube poreux entourant l'extérieur de la tige d'électrode de décharge, l'appareil de réaction présentant un rendement élevé tout en étant apte à produire de façon continue du disilane, du trisilane et du tétrasilane à partir de silane par un ajustement du matériau de la tige d'électrode de décharge, de la distance entre la tige d'électrode de décharge et le tube poreux, et autres.