STRAIN MAPPING IN TEM USING PRECESSION ELECTRON DIFFRACTION
A sample material is scanned with a transmission electron microscope (TEM) over multiple steps having a predetermined size at a predetermined angle. Each scan at a predetermined step and angle is compared to a template, wherein the template is generated from parameters of the material and the scanni...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | A sample material is scanned with a transmission electron microscope (TEM) over multiple steps having a predetermined size at a predetermined angle. Each scan at a predetermined step and angle is compared to a template, wherein the template is generated from parameters of the material and the scanning. The data is then analyzed using local mis-orientation mapping and/or Nye's tensor analysis to provide information about local strain states.
Selon l'invention, un matériau échantillon est balayé avec un microscope électronique à transmission (MET) par de multiples passages ayant une taille prédéterminée à un angle prédéterminé. Chaque balayage selon un passage et un angle prédéterminés est comparé à un modèle, le modèle étant généré à partir de paramètres du matériau et du balayage. Les données sont ensuite analysées à l'aide d'une cartographie de désorientation locale et/ou d'une analyse du tenseur de Nye pour fournir des informations concernant des états de contrainte locaux. |
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