ROTARY FLEX UNION

A rotary union is disclosed for use in semiconductor processing applications. The rotary is coupled between a platen base and a platen of a rotating platen assembly. The rotary union includes a coiled flexible tube member for passing a flow of cryogenic fluid to the platen for cooling during an ion implant procedure. The coiled flexible tube member has a first configuration associated with a non-rotated position of the platen and a second configuration associated with a rotated position of the platen. In the first configuration the coiled flexible tube member has a first bend radius, and in the second configuration the coiled flexible tube member has a second bend radius that is smaller than first bend radius. The rotary union also includes a base with a peripheral wall that restricts movement of the coiled flexible tube member as it cycles between the first and second configurations. L'invention porte sur ne union à éléments rotatifs destiné à être utilisée dans des applications de traitement de semi-conducteurs L'élément rotatif est couplé entre une base de platine et une platine d'un ensemble platine rotatif. L'union à éléments rotatifs comprend un élément de tube flexible en spirale pour le passage d'un flux de fluides cryogéniques vers la platine pour un refroidissement durant une procédure d'implant d'ions. L'élément de tube flexible en spirale a une première configuration associée à une position non tournée de la platine et une seconde configuration associée à une position tournée de la platine. Dans la première configuration l'élément de tube flexible en spirale a un premier rayon de courbure, et dans la seconde configuration l'élément de tube flexible en spirale a un second rayon de courbure qui est inférieur au premier rayon de courbure. L'union à éléments rotatifs comprend également une base comportant une paroi périphérique qui restreint un mouvement de l'élément de tube flexible en spirale à mesure qu'il passe en cycles entre les première et seconde configurations.