INSPECTION SYSTEM INCLUDING PARALLEL IMAGING PATHS WITH MULTIPLE AND SELECTABLE SPECTRAL BANDS

The present disclosure is directed to a system for inspecting a sample with multiple wavelengths of illumination simultaneously via parallel imaging paths. The system may include at least a first detector or set of detectors configured to detect illumination reflected, scattered, or radiated along a first imaging path from a selected portion of the sample in response to the first wavelength of illumination and a second detector or set of detectors configured to concurrently detect illumination reflected, scattered, or radiated along a second imaging path from the selected portion of the sample (i.e. the same location on the sample) in response to the second wavelength of illumination, where the second imaging path may at least partially share illumination and/or detection optics with an autofocus channel. La présente invention porte sur un système d'inspection d'un échantillon avec de multiples longueurs d'onde d'éclairage simultanément par l'intermédiaire de trajets d'imagerie parallèles. Le système peut comprendre au moins un premier détecteur ou un ensemble de détecteurs configurés pour détecter un éclairage réfléchi, diffusé ou rayonné le long d'un premier trajet d'imagerie depuis une partie sélectionnée de l'échantillon en réponse à la première longueur d'onde d'éclairage et un second détecteur ou un ensemble de détecteurs configurés pour détecter simultanément un éclairage réfléchi, diffusé ou rayonné le long d'un second trajet d'imagerie depuis la partie sélectionnée de l'échantillon (à savoir le même emplacement sur l'échantillon) en réponse à la seconde longueur d'onde d'éclairage, le second trajet d'imagerie pouvant au moins partiellement partager des optiques d'éclairage et/ou de détection avec un canal d'autofocalisation.