WORKPIECE FLIPPING MECHANISM FOR SPACE-CONSTRAINED ENVIRONMENT

In one embodiment, a flipping module operable to flip a workpiece delivered by a robot in a vacuum transfer chamber (VTC) includes a gripper disposed outside a working envelope of the robot in a parked position in a vacuum environment of the VTC, and an actuator operable to move the gripper from the...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SOTIROV, ZLATKO, MANOLOV, TODOROV, ALEXANDER
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:In one embodiment, a flipping module operable to flip a workpiece delivered by a robot in a vacuum transfer chamber (VTC) includes a gripper disposed outside a working envelope of the robot in a parked position in a vacuum environment of the VTC, and an actuator operable to move the gripper from the parked position to a receiving position, and to rotate the gripper and workpiece to thereby flip the workpiece. La présente invention se rapporte, selon un mode de réalisation, à un module de retournement destiné à retourner une pièce à travailler délivrée par un robot dans une chambre de transfert sous vide (VTC), ledit module de retournement comprenant un dispositif de préhension disposé à l'extérieur d'une enveloppe de travail du robot dans une position de rangement dans un environnement sous vide de la chambre VTC, et un actionneur destiné à déplacer le dispositif de préhension de la position de rangement jusqu'à une position de réception, et à faire tourner le dispositif de préhension et la pièce à travailler afin de retourner, de ce fait, la pièce à travailler.