METROLOGY TARGET IDENTIFICATION, DESIGN AND VERIFICATION

A metrology design and verification framework is provided, which includes methods and systems for metrology structure identification in an integrated circuit design data block, design rule checking, hierarchal design of metrology target structures to minimize random errors, and metrology design rule verification of metrology target design files. In-die metrology targets are identified using various filtering methods and/or designed as hierarchical structure within dies or outside the dies. Particularly, metrology target design files are generated, which are hierarchical in structure and compatible with design rule checks. Design rule check takes into account the hierarchical and often repetitive target designs in the verification process. Layouts may be verified using design rule checks at different levels of design rules, which may be combined to remove rule violations and errors prior to actual target production. L'invention concerne une architecture de conception et de vérification métrologique, qui comprend des procédés et des systèmes d'identification de structure métrologique dans un bloc de données de conception de circuit intégré, de vérification de règle de conception, de conception hiérarchique de structures de cible métrologique pour réduire au minimum des erreurs aléatoires, et de vérification de règle de conception métrologique de fichiers de conception de cible métrologique. Des cibles métrologiques en puce sont identifiées à l'aide de divers procédés de filtrage et/ou conçues sous la forme d'une structure hiérarchique dans des puces ou à l'extérieur des puces. En particulier, des fichiers de conception de cible métrologique sont générés, lesquels sont hiérarchiques en termes de structure et compatibles avec des contrôles de règle de conception. Un contrôle de règle de conception prend en considération les conceptions de cible hiérarchiques et souvent répétitives dans le processus de vérification. Des topologies peuvent être vérifiées à l'aide de contrôles de règle de conception à différents niveaux de règles de conception, qui peuvent être combinées pour éliminer des violations de règle et des erreurs avant une production de cible réelle.