ZNO-AL2O3-MGO SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF

It is known to produce a crystalline material consisting of ZnO-Al2O3-MgO (ZAMO) by dry mixing powders of raw material components comprising Al2O3, ZnO and MgO or precursors of these substances and sintering the powder mixtures so as to obtain the sputtering target. It is an object of the present invention to provide a target with high purity having 3N quality or better and which comprises no or small amounts of single phase consisting of Al2O3 and MgO. For that purpose it is proposed that said the step of mixing comprises a mixing of powders of the raw material components in a liquid, whereby the maximum solubility for said raw material powders in said liquid is less than 200 mg/kg and whereby said liquid used in the mixing step comprises water and whereby powder of MgCO3 is used as a precursor component for MgO. The obtained ZAMO sputtering target is characterized by a micro structure containing single component oxide phase consisting of either Al2O3 or of MgO in an amount of less than 1 % per weight, whereby the microstructure contains regions of single and binary phases of zincite, gahnite (ZnAlO4) and spinel (MgAlO4). Selon l'invention, dans l'art antérieur, on connaît la production d'un matériau cristallin constitué de ZnO-Al2O3-MgO (ZAMO) par mélange sec de poudres de composants de matières premières comprenant Al2O3, ZnO et MgO ou des précurseurs de ces substances et frittage des mélanges de poudres de façon à obtenir la cible de pulvérisation. Un objet de la présente invention est de fournir une cible avec une pureté élevée possédant une qualité 3N ou meilleure et qui comprend des quantités nulles ou faibles de phase unique constituée d'Al2O3 et de MgO. Dans ce but, on propose que ladite étape de mélange comprenne un mélange des poudres des composants de matières premières dans un liquide, caractérisé en ce que la solubilité maximale pour lesdites poudres de matières premières dans ledit liquide est inférieure à 200 mg/kg, en ce que ledit liquide utilisé dans l'étape de mélange comprend de l'eau et en ce que de la poudre de MgCO3 est utilisée en tant que composant précurseur pour MgO. La cible de pulvérisation ZAMO obtenue est caractérisée par une microstructure contenant une phase oxyde à composant unique constitué ou d'Al2O3 ou de MgO en une quantité de moins de 1 % en poids, la microstructure contenant des régions de phases unique et binaire de zincite, gahnite (ZnAlO4) et spinelle (MgAlO4).