METHOD FOR PRODUCING HIGH-PURITY GERMANE AND DEVICE THEREFOR

The present invention relates to a method for producing high-purity germane and a device therefor. The method for producing germane (GeH4), according to the present invention, comprises: a synthesis step for generating a first aqueous solution by sequentially dissolving solid-state KOH, NaBH4 and GeO2 into distilled water, and generating gas-state crude GeH4 doped with impurities by reacting and sequentially putting a predetermined amount of the first aqueous solution into a reactor in a state where an H2SO4 aqueous solution is put into the reactor; a first refining step for removing impurities containing partial H2O and Ge2H6 condensed by cooling the crude GeH4 at a predetermined temperature and removing impurities containing the residual H2O and CO2 using an adsorbent; and a second refining step for generating GeH4 from which the impurities are removed by removing H2, which is an impurity, from the crude GeH4 after the first refining step using a distillation process based on a boiling point difference. The present invention has the advantages of obtaining high-purity GeH4 and having a high recovery rate. La présente invention porte sur un procédé et sur un dispositif qui permettent d'obtenir du germane de pureté élevée. Le procédé d'obtention de germane (GeH4) selon la présente invention comporte les étapes suivantes : la synthèse, afin de générer une première solution aqueuse par dissolution séquentielle de KOH, de NaBH4 et de GeO2 à l'état solide dans de l'eau distillée et de générer du GeH4 brut, à l'état gazeux, dopé par des impuretés, par réaction et introduction séquentielles d'une quantité prédéfinie de la première solution aqueuse dans un réacteur alors qu'une solution aqueuse de H2SO4 est introduite dans le réacteur; un premier raffinage afin d'éliminer des impuretés contenant une partie de l'H2O et du Ge2H6 condensés par refroidissement du GeH4 brut à une température prédéfinie et d'éliminer des impuretés contenant l'H2O et le CO2 résiduels à l'aide d'un adsorbant; un second raffinage, afin de générer du GeH4 dont les impuretés sont éliminées par élimination d'H2, qui est une impureté, du GeH4 brut après le premier raffinage à l'aide d'un processus de distillation fondé sur une différence de points d'ébullition. La présente invention présente l'avantage de pouvoir obtenir du GeH4 de pureté élevée et d'avoir un taux de récupération élevé.