LITHOGRAPHIC APPARATUS AND TABLE FOR USE IN SUCH AN APPARATUS

A table (WT) for use in an immersion lithographic apparatus, the table comprising: a first planar surface (112); and a swap bridge member (150) defining an upper surface (152) which extends from and is substantially co-planar with the first planar surface; wherein the swap bridge member is configure...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	JEUNINK, ANDRE, BERNARDUS, FRENCKEN, MARK, JOHANNES, HERMANUS, KRAMER, GIJS, DE VREEDE, FREDERIKUS, JOHANNES, MARIA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A table (WT) for use in an immersion lithographic apparatus, the table comprising: a first planar surface (112); and a swap bridge member (150) defining an upper surface (152) which extends from and is substantially co-planar with the first planar surface; wherein the swap bridge member is configured to deform when the swap bridge member collides with another object, while remaining attached to the table. L'invention concerne une table (WT) destinée à être utilisée dans un appareil lithographique à immersion, la table comprenant : une première surface plate (112); et un élément de liaison d'échange (150) définissant une surface supérieure (152) qui s'étend à partir de et est sensiblement coplanaire avec la première surface plate; l'élément de liaison d'échange étant configuré pour se déformer lorsque l'élément de liaison d'échange entre en collision avec un autre objet, tout en restant fixé à la table.